Dellmeco金属泵专为半导体行业而设计。这些独特产品的整个装配过程在ISO 5级（根据ISO 14644-1标准）中完成，

包括对部件进行双重清洁，使用去离子水进行测试，最后用塑料薄膜密封。

与液体接触的SEMI T和SEMI H泵的所有部件
均由PTFE（聚四氟乙烯）制成。

与液体接触的SEMI E泵的壳体部件
由UPPE（超纯
聚乙烯）制成。

SEMI S泵
与液体接触的外壳部件由AISI 
316L不锈钢制成。

特点
- 没有金属部件（甚至低至原子级）
- 没有弹性体O形密封圈
- 空气阀无润滑
- 100级洁净室组装，使用去离子水和双密封包装进行测试
- TFM隔膜，坚固可靠
- 4种不同应用的材料，温度可达200°C
- 机加工成型固体材料先进的CNC加工和车削中心
- 脉动阻尼器，泄漏检测，电子/气动控制和监控适用于所有尺寸
- 简单的“预防性维护计划”（PMP），与竞争对手相比，仅有40％的备件
- 容量从10-100升/分钟
- 4种尺寸由PTFE / UPPE（超纯聚乙烯）制成，用于酸和焦散，没有金属部件，甚至低至原子水平，温度范围高达+130摄氏度（SEMI T系列）
- 2种尺寸 由PTFE制成，适用于酸和腐蚀性高达+200摄氏度的应用（SEMI H系列）
- 4种尺寸的UPPE用于浆料（SEMI E系列）
- 2个尺寸中心不锈钢溶剂（SEMI S系列）

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