电子超纯水微量磷盐加药设备是专为半导体、光伏等电子行业设计的精密加药系统，用于超纯水中ppb级磷酸盐的精确添加。

一、设备组成

1. 核心加药单元：高精度柱塞泵（流量范围0.1-50mL/min，精度±1%）、PFA材质流路系统（耐腐蚀、超低析出）、氮气保护储药罐（防止CO₂溶入）

2. 水质监测系统：在线电阻率仪（0.01-18.2MΩ·cm）、TOC分析仪（检测范围0-100ppb）、磷酸根专用离子色谱（检测下限0.1ppb）

3. 控制系统：多参数PID控制器、触摸屏人机界面、数据记录系统（符合SEMI F57标准）

二、工作原理

1. 加药控制原理： 基于电阻率反馈信号自动调节加药量、采用质量流量计进行闭环控制、多级稀释系统实现ppb级精确添加

2. 污染防控机制：全封闭流路设计（Class 1洁净等级）、在线氮气吹扫功能、死体积<0.5mL的特殊结构设计

三、设计方法

1. 材料选择：接触介质部分采用PFA/316L EP、密封件使用Kalrez全氟醚橡胶、表面粗糙度Ra≤0.25μm

2. 精度保证设计：三级稀释系统（1000:1稀释比）、恒温控制单元（±0.1℃）、振动隔离装置

3. 系统集成设计：模块化结构（便于维护）、双流路冗余配置、EMO紧急停机功能

四、操作流程

1. 启动准备：执行系统超纯水冲洗（电阻率≥18MΩ·cm）→氮气置换系统内空气→校准在线监测仪表

2. 正常运行：设置目标电阻率值（通常17-18MΩ·cm）→启动自动加药程序→实时监控TOC变化

3. 停机程序：执行系统排空→氮气保压封存→数据备份归档

五、维护保养

1. 日常维护：每日检查系统压力、每周校准电阻率仪、每月验证加药精度

2. 定期维护：每季度更换过滤器（0.1μm）、半年更换泵头密封件、年度系统全面校验

3. 特殊维护：出现颗粒污染时执行PFA管路更换、TOC异常时进行臭氧清洗、每年进行SEMI标准认证检测